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pgaTOF过程气体分析
pgaTOF质谱仪通过目标气体分析，致力于关键半导体应用运行条件监控和调整优化
- 适用于多种半导体应用场景反应器健康状态（RHS）监控，反应终点监测，等离子体诊断和过程优化
- 快速灵敏质谱监控技术 飞行时间（TOF）质谱分析仪以‘亚’秒级采集效率进行全物种全谱检测
- 宽动态响应范围 瞬时全谱检测制程反应过程中所有前体物，中间和最终产物以及其他杂质。
- 高可靠性，高移动性 灵活且结实的仪器设计和装保证了在挑战性运行环境下的高精度和便携性
- 长期稳定性 精确且高重复性的仪器响应
- 强大分析软件 易上手的操控界面，功能齐全的系统集成API接口
- ‘陷波’技术有效压制仪器背景信号 精确衰减特定信号值，减少对有效信号干扰
pgaTOF性能指标
| 抗腐蚀版本* | 任意方向安装及运行 | 质量分辨率 M/ΔM | 灵敏度 cps/ppb | 检测限 ppb/s | 尺寸 kg | cm | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| pgaTOF 2R | yes | yes | 8000 | >10 | <1 | 160 | 148 x 48 x 62 |
| pgaTOF R | no* | yes | 4000 | >10 | <1 | 85 | 90 x 40 x 53 |
| pgaTOF S2 | yes | yes | 800 | >10 | <1 | 93 | 112 x 47 x 47 |
*corrosion resistant version readily available
